一體式原子力顯微鏡 

◆ 激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體，穩定可靠；
◆ 精密激光及探針定位裝置，更換探針及調節光斑簡單方便；
◆ 單軸驅動樣品自動垂直接近探針，準確定位掃描區域，使針尖垂直于樣品掃描；
◆ 馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品；
◆ 高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，可根據不同精度和掃描范圍要求選擇；
◆ 10X復消色差物鏡光學定位，無需調焦，實時觀測

技術參數

◆ 基本工作模式：接觸模式、輕敲模式、F-Z力曲線測量、RMS-Z曲線測量
◆ 選配工作模式：摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力和靜電力
◆ 樣品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm
◆ 掃描范圍：XY向50um，Z向5um（可選配XY向110um，Z向10um）
◆ 掃描分辨率：XY向0.2nm，Z向0.05nm
◆ 樣品移動范圍：0~20mm
◆ 光學放大倍數10X，光學分辨率1um（可選配20X，光學分辨率0.8um）
◆ 掃描速率0.6Hz~4.34Hz，掃描角度0~360°
◆ 掃描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A
◆ 數據采樣：14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
◆ 反饋方式：DSP數字反饋
◆ 反饋采樣速率：64.0KHz
◆ 通信接口：USB2.0/3.0
◆ 運行環境：WindowsXP/7/8/10操作系統